电子元件与材料2003，Vol.22Issue(8)：29-30，34,3.
碳化硅薄膜及压阻效应研究
Study on Piezo-resistive Effect of SiC Thin Film
赵武 1王雪文 1邓周虎 1张志勇 1戴琨1
作者信息
- 1. 西北大学电子科学系,陕西,西安,710069
- 折叠
摘要
关键词
碳化硅/压阻效应/薄膜分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
赵武,王雪文,邓周虎,张志勇,戴琨..碳化硅薄膜及压阻效应研究[J].电子元件与材料,2003,22(8):29-30，34,3.
