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BST薄膜的微结构研究

陈宏伟 杨传仁 符春林 赵莉 高志强

电子元件与材料2005,Vol.24Issue(2):29-31,3.
电子元件与材料2005,Vol.24Issue(2):29-31,3.

BST薄膜的微结构研究

Study on the Microstructure of BaxSr1-xTiO3 Thin Films

陈宏伟 1杨传仁 1符春林 1赵莉 1高志强1

作者信息

  • 1. 电子科技大学微电子与固体电子学院,四川,成都,610054
  • 折叠

摘要

关键词

无机非金属材料/钛酸锶钡薄膜/射频磁控溅射/微结构/电畴

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

陈宏伟,杨传仁,符春林,赵莉,高志强..BST薄膜的微结构研究[J].电子元件与材料,2005,24(2):29-31,3.

基金项目

国家973资助项目 (Z01) (Z01)

电子元件与材料

OA北大核心CSCD

1001-2028

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