电子元件与材料2008，Vol.27Issue(3)：29-31,34,4.
高介电性纳米复合氧化膜的研究
Study on high dielectric properties of nano-composite oxide film
马立波 1张枝苗 1高炜斌 1朱绪飞2
作者信息
- 1. 常州工程职业技术学院,江苏,常州,213164
- 2. 南京理工大学,化工学院,江苏,南京,210094
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摘要
关键词
电子技术/多孔氧化铝/钽/电沉积/复合膜/介电性能分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
马立波,张枝苗,高炜斌,朱绪飞..高介电性纳米复合氧化膜的研究[J].电子元件与材料,2008,27(3):29-31,34,4.
