电子与封装2005，Vol.5Issue(9)：29-33,5.
亚微米双层多晶硅自对准双极晶体管性能研究
Research of the Performance of the Submicrometer Double Polysilicon Self-aligned Bipolar Transistors
摘要
关键词
多晶硅发射极/双层多晶硅自对准(DPSA)/原位掺杂分类
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张志勇,海潮和..亚微米双层多晶硅自对准双极晶体管性能研究[J].电子与封装,2005,5(9):29-33,5.
