电子与封装2008，Vol.8Issue(11)：31-35,5.
利用OPC方法提高NAND FLASH CELL WL均匀性
Improve the UN of NAND FLASH CELL WL with OPC Methods
徐海洁 1程秀兰2
作者信息
- 1. 上海交通大学微电子学院,上海,200030
- 2. 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司TD,上海,201203
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摘要
关键词
光刻/OPC/分辨率/NANDFLASHCELL/均匀性分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
徐海洁,程秀兰..利用OPC方法提高NAND FLASH CELL WL均匀性[J].电子与封装,2008,8(11):31-35,5.
