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SiGe材料及其在双极型器件中的应用

陈震 吴德馨

电子与封装2005,Vol.5Issue(1):31-35,5.
电子与封装2005,Vol.5Issue(1):31-35,5.

SiGe材料及其在双极型器件中的应用

Recent Progress in SiGe Materials and Relevant Bipolar Devices

陈震 1吴德馨1

作者信息

  • 1. 中国科学院微电子中心,北京,100029
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摘要

关键词

SiGe/异质结双极晶体管/微波器件

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

陈震,吴德馨..SiGe材料及其在双极型器件中的应用[J].电子与封装,2005,5(1):31-35,5.

电子与封装

1681-1070

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