电子元件与材料2008,Vol.27Issue(3):32-34,3.
多弧离子镀制备高比电容铝箔的研究
Study on high specific capacitance of aluminum foil by multi-arc ion plating system
周青春 1潘应君1
作者信息
- 1. 武汉科技大学,材料与冶金学院,湖北,武汉,430081
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摘要
关键词
电子技术/PVD/铝箔/比电容/TiCN涂层分类
矿业与冶金引用本文复制引用
周青春,潘应君..多弧离子镀制备高比电容铝箔的研究[J].电子元件与材料,2008,27(3):32-34,3.