电子与封装2009，Vol.9Issue(3)：32-35,4.
干法刻蚀中静电吸盘对产品良率的影响
ESC's Influence to Production in Poly Etch and Methods to Improve ESC's Lifetime
董家伟 1黄其煜2
作者信息
- 1. 上海交通大学微电子学院,上海,200240
- 2. 中芯国际(上海)集成电路制造有限公司,上海,201203
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摘要
关键词
静电吸盘/双极性/夹持电压/偏压补偿/冷却气体分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
董家伟,黄其煜..干法刻蚀中静电吸盘对产品良率的影响[J].电子与封装,2009,9(3):32-35,4.
