电子元件与材料2004，Vol.23Issue(6)：35-37,3.
制备工艺对氧化钒薄膜微观结构的影响
Effect of Preparing Process on the Micro-structure of Thin Film of Vanadium Oxide
摘要
关键词
有机sol-gel法/氧化钒薄膜/微观结构分类
通用工业技术引用本文复制引用
张硕,姜胜林,刘梅冬,张弛..制备工艺对氧化钒薄膜微观结构的影响[J].电子元件与材料,2004,23(6):35-37,3.基金项目
国家高技术研究发展计划资助项目(2002AA325080):国家自然科学基金重大研究计划项目(90201028) （2002AA325080）
