电子元件与材料2007，Vol.26Issue(11)：35-37,3.
AlN薄膜有源SAW滤波器集成及性能研究
Study on properties and integration of AlN thin film active SAW filter
摘要
关键词
电子技术/AlN压电薄膜/叉指换能器/有源SAW滤波器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘桥,王代强,冯杰,王忠良..AlN薄膜有源SAW滤波器集成及性能研究[J].电子元件与材料,2007,26(11):35-37,3.基金项目
贵州省自然科学基金资助项目(黔科合计20043028) （黔科合计20043028）
