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PHEMT欧姆接触的双源共蒸技术

贾洁郑华耿涛黄念宁

电子与封装2007，Vol.7Issue(11)：35-38,4.

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电子与封装2007，Vol.7Issue(11)：35-38,4.

PHEMT欧姆接触的双源共蒸技术

The Co-evaporation Technology of Ohmic Contact in GaAs PHEMT

贾洁 ¹郑华 ¹耿涛 ¹黄念宁¹

作者信息

1. 南京电子器件研究所,南京,210016
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摘要

关键词

GaAs/PHEMT/欧姆接触/双源共蒸

分类

信息技术与安全科学

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贾洁,郑华,耿涛,黄念宁..PHEMT欧姆接触的双源共蒸技术[J].电子与封装,2007,7(11):35-38,4.

电子与封装

ISSN：1681-1070

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