电子元件与材料2006，Vol.25Issue(4)：36-38,3.
基片对SrTiO3薄膜结构与介电性能的影响
Effect of Substrate on the Microstructure and Dielectric Properties of SrTiO3 Thin Films
摘要
关键词
无机非金属材料/SrTiO3薄膜/基片/微观结构/介电性能分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
何世明,李言荣,刘兴钊..基片对SrTiO3薄膜结构与介电性能的影响[J].电子元件与材料,2006,25(4):36-38,3.基金项目
总装备部预研资助项目(41312040302) （41312040302）
