电子元件与材料2009，Vol.28Issue(5)：36-38,3.DOI:10.3969/j.issn.1001-2028.2009.05.012
c轴择优取向AlN薄膜的制备研究
Research on preparation of AlN thin films preferentially orientated to c-axis
宁金叶 1刘兴钊 1邓新武1
作者信息
- 1. 电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054
- 折叠
引用本文复制引用
宁金叶,刘兴钊,邓新武..c轴择优取向AlN薄膜的制备研究[J].电子元件与材料,2009,28(5):36-38,3.
