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脉冲激光沉积制备NiO(111)外延薄膜及其结构研究

贝力 朱俊 赵丹 郑润华 李言荣

电子元件与材料2009,Vol.28Issue(7):36-38,3.
电子元件与材料2009,Vol.28Issue(7):36-38,3.DOI:10.3969/j.issn.1001-2028.2009.07.012

脉冲激光沉积制备NiO(111)外延薄膜及其结构研究

Preparation of epitaxial NiO(111)thin films by pulsed laser deposition and the study on its morphology

贝力 1朱俊 1赵丹 1郑润华 1李言荣1

作者信息

  • 1. 电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054
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摘要

关键词

NiO薄膜/激光脉冲沉积法/外延匹配/蓝宝石衬底

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

贝力,朱俊,赵丹,郑润华,李言荣..脉冲激光沉积制备NiO(111)外延薄膜及其结构研究[J].电子元件与材料,2009,28(7):36-38,3.

基金项目

"973"计划资助项目(No.61363) (No.61363)

电子元件与材料

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-2028

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