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烘箱HMDS预处理程序优化

张明明 廖聪湘

电子与封装2009，Vol.9Issue(4)：37-39,3.
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电子与封装2009，Vol.9Issue(4)：37-39,3.

烘箱HMDS预处理程序优化

Optimization of HMDS Vapor Prime Oven Pre-process

张明明 1廖聪湘1

作者信息

  • 1. 中微晶园电子有限公司,无锡,214035
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摘要

关键词

HMDS/接触角/胶量

分类

信息技术与安全科学

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张明明,廖聪湘..烘箱HMDS预处理程序优化[J].电子与封装,2009,9(4):37-39,3.

电子与封装

1681-1070

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