Fe/Al混合膜的PLD法制备及表面分析OA北大核心CSCD
Fabrication and surface analysis of Fe/Al compound films
采用脉冲激光气相沉积(PLD)技术制备了Fe/Al混合膜,测量了该混合膜的光电子能谱(XPS),并采用原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)对Fe/Al混合膜作了表面分析.结果表明:Fe/Al混合膜的表面粗糙度对衬底温度有明显的依赖性, 随着衬底温度的升高,薄膜的表面逐渐变得平滑,膜层变得致密,在200 ℃衬底温度下制得了均方根(rms)粗糙度为0.154 nm、具有原子尺度光滑性的Fe/Al混合膜, 膜中Fe和Al分布比较均匀,其成分…查看全部>>
何英杰;吴卫东;张超;李俊;许华;程新路
四川大学,原子与分子物理所,四川,成都,610065中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900四川大学,原子与分子物理所,四川,成都,610065中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900四川大学,原子与分子物理所,四川,成都,610065中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900
数理科学
脉冲激光气相沉积(PLD)Fe/Al混合膜光电子能谱(XPS)衬底温度均方根粗糙度
《强激光与粒子束》 2005 (3)
381-385,5
国家863计划项目资助课题中国工程物理研究院激光聚变研究中心创新基金资助课题
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