|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|电子与封装|薄膜中晶粒正常生长过程的研究

薄膜中晶粒正常生长过程的研究

韩钧 赵秀超

电子与封装2006，Vol.6Issue(9)：38-40,3.
✕
电子与封装2006，Vol.6Issue(9)：38-40,3.

薄膜中晶粒正常生长过程的研究

Research of the Normal Grain Growth in Thin Films

韩钧 1赵秀超1

作者信息

  • 1. 南京电子器件研究所,南京,210016
  • 折叠

摘要

关键词

薄膜/晶粒生长/平均晶粒尺寸

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

韩钧,赵秀超..薄膜中晶粒正常生长过程的研究[J].电子与封装,2006,6(9):38-40,3.

电子与封装

1681-1070

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文