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深亚微米工艺用二次纯水系统

王铁坤华卫群孙勇山

电子与封装2002，Vol.2Issue(2)：38-44,7.

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电子与封装2002，Vol.2Issue(2)：38-44,7.

深亚微米工艺用二次纯水系统

A 2nd Pure Water System for Deep Submicron Processes

王铁坤 ¹华卫群 ¹孙勇山¹

作者信息

1. 无锡微电子科研中心,江苏,无锡,214035
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摘要

关键词

深亚微米/一次纯水/二次纯水

分类

信息技术与安全科学

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王铁坤,华卫群,孙勇山..深亚微米工艺用二次纯水系统[J].电子与封装,2002,2(2):38-44,7.

电子与封装

ISSN：1681-1070

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