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对氟和铝表面反应的研究

冯伟

电子与封装2007，Vol.7Issue(4)：40-44,48,6.
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电子与封装2007，Vol.7Issue(4)：40-44,48,6.

对氟和铝表面反应的研究

Study for the Surface Reaction Between Al and F

冯伟1

作者信息

  • 1. 上海交通大学微电子学院,上海,200030;美商得升科技有限公司,上海,201206
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摘要

关键词

XPS/氢氧化氟铝/SEM

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

冯伟..对氟和铝表面反应的研究[J].电子与封装,2007,7(4):40-44,48,6.

电子与封装

1681-1070

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