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新颖的双间隔RF MEM可变电容的设计与模拟

董乔华 廖小平

电子元件与材料2006,Vol.25Issue(1):41-44,4.
电子元件与材料2006,Vol.25Issue(1):41-44,4.

新颖的双间隔RF MEM可变电容的设计与模拟

Design and Simulation of a Novel Two-gap RF MEM Variable Capacitor

董乔华 1廖小平1

作者信息

  • 1. 东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096
  • 折叠

摘要

关键词

电子技术/射频/MEM可变电容/变容比/品质因数

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

董乔华,廖小平..新颖的双间隔RF MEM可变电容的设计与模拟[J].电子元件与材料,2006,25(1):41-44,4.

电子元件与材料

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-2028

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