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SOI器件及应用

罗浩平

电子与封装2007，Vol.7Issue(7)：41-45,5.
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电子与封装2007，Vol.7Issue(7)：41-45,5.

SOI器件及应用

The SOI Devices and Applications

罗浩平1

作者信息

  • 1. 中国电子科技集团公司第五十八研究所,江苏,无锡,214035
  • 折叠

摘要

关键词

SOI/器件结构/制作工艺

分类

信息技术与安全科学

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罗浩平..SOI器件及应用[J].电子与封装,2007,7(7):41-45,5.

电子与封装

1681-1070

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