电子元件与材料2005，Vol.24Issue(6)：42-43,46,3.
氮掺杂对a-C:F薄膜表面形貌和键结构的影响
Influence of Nitrogen Doping on Surface Morphology and Bond Structure of Amorphous Carbon Thin Films
刘雄飞 1周昕 1高金定1
作者信息
- 1. 中南大学物理科学与技术学院,湖南,长沙,410083
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摘要
关键词
无机非金属材料/a-C:F薄膜/氮掺杂/表面形貌/结构分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘雄飞,周昕,高金定..氮掺杂对a-C:F薄膜表面形貌和键结构的影响[J].电子元件与材料,2005,24(6):42-43,46,3.
