电子元件与材料2009，Vol.28Issue(3)：42-44,3.
ZnO和ZAO薄膜磁控溅射等离子体发射光谱
Plasma emission spectra of ZnO and ZAO thin film grown by RF magnetron sputtering
韩力 1熊予莹2
作者信息
- 1. 华南师范大学,物理与电信工程学院,广东,广州,510006
- 2. 广东省粤晶高科股份有限公司,广东,广州,510663
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摘要
关键词
无机非金属材料/ZAO薄膜/等离子体/发射光谱分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
韩力,熊予莹..ZnO和ZAO薄膜磁控溅射等离子体发射光谱[J].电子元件与材料,2009,28(3):42-44,3.
