电子元件与材料2009，Vol.28Issue(6)：43-45,3.DOI:10.3969/j.issn.1001-2028.2009.06.013
工艺条件对柔性衬底ITO薄膜光电性能的影响
Effect of technological conditions on the electrical and optical properties of flexible ITO films
摘要
关键词
DC磁控溅射/柔性衬底/ITO薄膜/电阻率/透光率分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
辛荣生,林钰,贾晓林..工艺条件对柔性衬底ITO薄膜光电性能的影响[J].电子元件与材料,2009,28(6):43-45,3.基金项目
河南省科技攻关项目(No.0224380029) （No.0224380029）
