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AZO透明导电薄膜的结构与光电性能

李金丽 邓宏 刘财坤

电子元件与材料2007,Vol.26Issue(1):43-45,3.
电子元件与材料2007,Vol.26Issue(1):43-45,3.

AZO透明导电薄膜的结构与光电性能

Structural and optical electrical properties of transparent conductive AZO thin films

李金丽 1邓宏 1刘财坤1

作者信息

  • 1. 电子科技大学微电子与固体电子学院,四川,成都,610054
  • 折叠

摘要

关键词

无机非金属材料/AZO薄膜/组织结构/光电性能

分类

数理科学

引用本文复制引用

李金丽,邓宏,刘财坤..AZO透明导电薄膜的结构与光电性能[J].电子元件与材料,2007,26(1):43-45,3.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(No.60390073):预研基金资助项目(No.ZJ0508):四川省应用基金资助项目(No.JY0290681) (No.60390073)

电子元件与材料

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-2028

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