电子元件与材料2008，Vol.27Issue(11)：43-45,3.
射频磁控溅射法制备掺锆氧化锌透明导电薄膜
Preparation of transparent conducting zirconium-doped zinc oxide thin films deposited by RF magnetron sputtering
摘要
关键词
电子技术/ZnO∶Zr薄膜/透明导电薄膜/磁控溅射分类
数理科学引用本文复制引用
刘汉法,张化福,类成新,袁长坤..射频磁控溅射法制备掺锆氧化锌透明导电薄膜[J].电子元件与材料,2008,27(11):43-45,3.基金项目
山东理工大学创新团队支持计划资助项目(No.2006) （No.2006）
