电子元件与材料2007，Vol.26Issue(11)：44-46,3.
AlN薄膜体声波谐振器性能分析
Characteristics of the AlN film bulk acoustic resonators
摘要
关键词
电子技术/薄膜体声波谐振器/氮化铝/背空腔型/Mason模型分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
胡光,顾豪爽,张凯,胡宽,吴小鹏..AlN薄膜体声波谐振器性能分析[J].电子元件与材料,2007,26(11):44-46,3.基金项目
国家自然科学基金资助项目(批准号:50572026) （批准号:50572026）
武汉市科技攻关计划资助项目(批准号:20061002073) （批准号:20061002073）
