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PLD法制备高介电调谐率的纳米晶BZT薄膜

唐新桂 梁建烈 农亮勤 熊惠芳 陈王丽华

电子元件与材料2007，Vol.26Issue(1)：46-48,51,4.
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电子元件与材料2007，Vol.26Issue(1)：46-48,51,4.

PLD法制备高介电调谐率的纳米晶BZT薄膜

High dielectric tunability of nanocrystalline Ba(ZrxTi1-x)O3 thin films prepared by pulsed laser deposition

唐新桂 1梁建烈 2农亮勤 1熊惠芳 1陈王丽华2

作者信息

  • 1. 广西民族大学物理与电子工程学院,广西,南宁,530006
  • 2. 广东工业大学物理与光电工程学院,广东,广州,510006
  • 折叠

摘要

关键词

无机非金属材料/锆钛酸钡薄膜/脉冲激光沉积/柱状晶粒/介电调谐特性/探测优值

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

唐新桂,梁建烈,农亮勤,熊惠芳,陈王丽华..PLD法制备高介电调谐率的纳米晶BZT薄膜[J].电子元件与材料,2007,26(1):46-48,51,4.

基金项目

广东省自然科学基金资助项目(No.05001825) （No.05001825）

电子元件与材料

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-2028

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