电子元件与材料2005，Vol.24Issue(3)：47-50,4.
RF MEMS开关的桥膜弹性系数计算
Computation of the Spring Constant to Reduce the Actuation Voltage of RF MEMS Switches
摘要
关键词
电子技术/RF MEMS开关/桥膜/驱动电压/弹性系数分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
邵雯雯,惠春,徐爱兰..RF MEMS开关的桥膜弹性系数计算[J].电子元件与材料,2005,24(3):47-50,4.基金项目
国防科技预研基金资助项目(00J7.1.2.DZ01) （00J7.1.2.DZ01）
