电子元件与材料2009，Vol.28Issue(2)：48-50,3.
平面磁芯螺旋结构微电感的性能研究
Study on property of planar spiral structure microinductor with magnetic core
摘要
关键词
平面磁芯螺旋结构微电感/MEMS技术/电感量/品质因数分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
冯书谊,周勇,周志敏,向毅..平面磁芯螺旋结构微电感的性能研究[J].电子元件与材料,2009,28(2):48-50,3.基金项目
国家"863"计划资助项目(No. 2006AA03Z301) （No. 2006AA03Z301）
上海市科委资助项目(No. 0652nm004,No. 0752nm004) （No. 0652nm004,No. 0752nm004）
重点实验室基金资助项目(No. 9140C7903090707) （No. 9140C7903090707）
基础科研资助项目(No. D2320060098) （No. D2320060098）
