电子元件与材料2008，Vol.27Issue(7)：50-54,5.
sol-gel法工艺条件对ZAO薄膜晶面取向性的影响
Effects of process conditions for sol-gel method on the crystal face orientation of ZAO thin films
摘要
关键词
无机非金属材料/sol-gel法/ZAO薄膜/晶面取向分类
数理科学引用本文复制引用
徐模辉,王华,许积文..sol-gel法工艺条件对ZAO薄膜晶面取向性的影响[J].电子元件与材料,2008,27(7):50-54,5.基金项目
广西高校百名中青年学科带头人资助计划资助项目(No. RC2006080914) （No. RC2006080914）
