电子元件与材料2008,Vol.27Issue(12):51-53,3.
图案化铜纳米线阵列的制备
Preparation of patterned Cu nanowire arrays by UV-photolithography
摘要
关键词
图案化/铜纳米线/阵列结构/紫外光刻法分类
化学化工引用本文复制引用
刘曦,佘希林,宋国君,孙峋,王树龙..图案化铜纳米线阵列的制备[J].电子元件与材料,2008,27(12):51-53,3.基金项目
青岛市科技发展计划资助项目(No. 200521) (No. 200521)