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图案化铜纳米线阵列的制备

刘曦 佘希林 宋国君 孙峋 王树龙

电子元件与材料2008,Vol.27Issue(12):51-53,3.
电子元件与材料2008,Vol.27Issue(12):51-53,3.

图案化铜纳米线阵列的制备

Preparation of patterned Cu nanowire arrays by UV-photolithography

刘曦 1佘希林 1宋国君 1孙峋 1王树龙1

作者信息

  • 1. 青岛大学,高分子材料研究所,山东,青岛,266071
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摘要

关键词

图案化/铜纳米线/阵列结构/紫外光刻法

分类

化学化工

引用本文复制引用

刘曦,佘希林,宋国君,孙峋,王树龙..图案化铜纳米线阵列的制备[J].电子元件与材料,2008,27(12):51-53,3.

基金项目

青岛市科技发展计划资助项目(No. 200521) (No. 200521)

电子元件与材料

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-2028

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