电子元件与材料2007，Vol.26Issue(10)：54-56,3.
AlN薄膜覆Al基板的物理特性
Physical properties of AlN/Al packaging substrate
李华平 1柴广跃 2彭文达 3刘文 3牛憨笨3
作者信息
- 1. 中国科学院,西安光学精密机械研究所,陕西,西安,710068
- 2. 中国科学院,研究生院,北京,100864
- 3. 深圳大学,光电子学研究所,广东,深圳,518060
- 折叠
摘要
关键词
无机非金属材料/AlN薄膜/LED封装/有限元法分类
通用工业技术引用本文复制引用
李华平,柴广跃,彭文达,刘文,牛憨笨..AlN薄膜覆Al基板的物理特性[J].电子元件与材料,2007,26(10):54-56,3.
