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(Ba0.67Sr0.33)TiO3陶瓷靶的制备和微观结构分析

刘世建 徐重阳 曾祥斌

电子元件与材料2001,Vol.20Issue(4):5-6,2.
电子元件与材料2001,Vol.20Issue(4):5-6,2.

(Ba0.67Sr0.33)TiO3陶瓷靶的制备和微观结构分析

Preparation of (Ba0.67, Sr0.33) TiO3 Target and Its microstructure

刘世建 1徐重阳 1曾祥斌1

作者信息

  • 1. 华中科技大学电子科学与技术系,
  • 折叠

摘要

关键词

钛酸锶钡陶瓷靶/烧结工艺/射频磁控溅射/微观结构

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

刘世建,徐重阳,曾祥斌..(Ba0.67Sr0.33)TiO3陶瓷靶的制备和微观结构分析[J].电子元件与材料,2001,20(4):5-6,2.

电子元件与材料

OA北大核心CSCD

1001-2028

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