电子元件与材料2009，Vol.28Issue(9)：58-60,3.DOI:10.3969/j.issn.1001-2028.2009.09.016
溅射功率对PET衬底上ZnO∶Zr薄膜性能的影响
Effect of sputtering power on properties of ZnO∶Zr films deposited on PET substrate
摘要
关键词
ZnO∶Zr薄膜/透明导电薄膜/磁控溅射/溅射功率分类
数理科学引用本文复制引用
刘汉法,张化福,袁玉珍,袁长坤,类成新..溅射功率对PET衬底上ZnO∶Zr薄膜性能的影响[J].电子元件与材料,2009,28(9):58-60,3.基金项目
山东理工大学创新团队支持计划资助项目(No.2006) （No.2006）
