本文介绍了国际上硅集成电路技术和产品的发展状况,阐述了硅集成电路关键技术及发展趋势.
作者：柯之江
作者单位：中国电子科技集团公司第五十八研究所,江苏,无锡,214035
分类：信息技术与安全科学
中文关键词：硅集成电路技术发展趋势
刊名：《电子与封装》 2004 (4)
页码/页数：5-9,5
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