BST薄膜的残余应力分析

尹开锯杨传仁冷文建廖家轩符春林张继华陈宏伟姬洪

电子元件与材料2005，Vol.24Issue(11)：59-61,3.

Residual Stress Analysis of BST Thin Films

尹开锯 ¹杨传仁 ¹冷文建 ¹廖家轩 ¹符春林 ¹张继华 ¹陈宏伟 ¹姬洪¹

作者信息

无机非金属材料/钛酸锶钡薄膜/晶化/残余应力

信息技术与安全科学

尹开锯,杨传仁,冷文建,廖家轩,符春林,张继华,陈宏伟,姬洪..BST薄膜的残余应力分析[J].电子元件与材料,2005,24(11):59-61,3.

国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(Z01) （973计划）

OA北大核心CSCD

ISSN：1001-2028

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