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BST薄膜铁电移相器研究进展

余慧春 徐爱兰 惠春

电子元件与材料2005，Vol.24Issue(3)：59-62,4.
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电子元件与材料2005，Vol.24Issue(3)：59-62,4.

BST薄膜铁电移相器研究进展

Research Progress on Ferroelectric Phase Shifters Using BST Thin Films

余慧春 1徐爱兰 1惠春1

作者信息

  • 1. 上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030
  • 折叠

摘要

关键词

微波技术/钛酸锶钡薄膜/铁电移相器/综述/介电性能

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

余慧春,徐爱兰,惠春..BST薄膜铁电移相器研究进展[J].电子元件与材料,2005,24(3):59-62,4.

基金项目

国防预研基金资助项目(DJ3.5.1) （DJ3.5.1）

电子元件与材料

OA北大核心CSCD

1001-2028

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