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NdFeB永磁靶材溅射模拟

雒哲廷 张敏刚 伍静 罗春云

电子元件与材料2008，Vol.27Issue(6)：61-64,4.
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电子元件与材料2008，Vol.27Issue(6)：61-64,4.

NdFeB永磁靶材溅射模拟

Sputtering simulation of NdFeB permanent magnet target

雒哲廷 1张敏刚 1伍静 1罗春云1

作者信息

  • 1. 太原科技大学,材料科学与工程学院,山西,太原,030024
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摘要

关键词

电子技术/Nd2Fe14B永磁靶/溅射/模拟

分类

数理科学

引用本文复制引用

雒哲廷,张敏刚,伍静,罗春云..NdFeB永磁靶材溅射模拟[J].电子元件与材料,2008,27(6):61-64,4.

基金项目

山西省自然科学基金资助项目(No. 20021067) （No. 20021067）

电子元件与材料

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-2028

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