电子元件与材料2007，Vol.26Issue(8)：62-64,3.
中频交流磁控溅射制备AZO薄膜及退火工艺
Anneal technique and the process of AZO thin films prepared by middle-frequency alternative magnetron sputtering
齐玉明 1梅冰 2杨光2
作者信息
- 1. 吉林化工学院,物理系,吉林,吉林,132022
- 2. 宏光纳米科技,深圳,有限公司,广东,深圳,518129
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摘要
关键词
无机非金属材料/中频磁控溅射/AZO薄膜/退火分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
齐玉明,梅冰,杨光..中频交流磁控溅射制备AZO薄膜及退火工艺[J].电子元件与材料,2007,26(8):62-64,3.
