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Pt电极的磁增强反应离子刻蚀的研究

吴小鹏 陈侃松 顾豪爽 胡宽 熊娟

电子元件与材料2008，Vol.27Issue(4)：62-64,3.
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电子元件与材料2008，Vol.27Issue(4)：62-64,3.

Pt电极的磁增强反应离子刻蚀的研究

Study on magnetically enhanced reactive ion etching of Pt electrode

吴小鹏 1陈侃松 1顾豪爽 1胡宽 1熊娟1

作者信息

  • 1. 湖北大学,物理学与电子技术学院,铁电压电材料与器件湖北省重点实验室,湖北,武汉,430062
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摘要

关键词

电子技术/Pt电极/MERIE/刻蚀速率/表面形貌

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

吴小鹏,陈侃松,顾豪爽,胡宽,熊娟..Pt电极的磁增强反应离子刻蚀的研究[J].电子元件与材料,2008,27(4):62-64,3.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(No.50572026) （No.50572026）

电子元件与材料

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-2028

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