电子元件与材料2006，Vol.25Issue(5)：65-68,4.
射频鞘层中等离子体浓度对离子动量的影响
Effect of Plasma Density on Ion Momentum in Radio Frequency Plasma Sheath
摘要
关键词
半导体技术/等离子体/鞘层/射频/离子/动量/等离子体浓度分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李志刚,丁玉成..射频鞘层中等离子体浓度对离子动量的影响[J].电子元件与材料,2006,25(5):65-68,4.基金项目
国家高技术研究发展计划(863计划)重点资助项目(2002 A A 420050) （863计划）
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2003 C B 716202) （973计划）
国家自然科学基金资助项目(50275118) （50275118）
