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提拉法晶体生长数值模拟研究进展OA北大核心CSCD

Research Progress in Numerical Simulation for Crystal Growth by Czochralski Method

中文摘要

数值模拟方法是了解晶体生长过程中各种物理现象和问题的重要手段,可以为晶体生长工艺参数的设定、温场设计等提供参考.本文介绍了最近几十年来数值模拟技术对提拉法生长晶体过程中物理问题的研究进展,同时对晶体生长过程中界面形状、液流、速度场、温度场、各种输运过程以及工艺条件和参数对晶体生长的影响等的数值模拟进行了介绍.

邵淑芳;张庆礼;苏静;孙敦陆;王召兵;张霞;殷绍唐

中国科学院安徽光学精密机械研究所,合肥,230031中国科学院安徽光学精密机械研究所,合肥,230031中国科学院安徽光学精密机械研究所,合肥,230031中国科学院安徽光学精密机械研究所,合肥,230031中国科学院安徽光学精密机械研究所,合肥,230031中国科学院安徽光学精密机械研究所,合肥,230031中国科学院安徽光学精密机械研究所,合肥,230031

数理科学

提拉法数值模拟晶体生长对流界面形状

《人工晶体学报》 2005 (4)

熔体法晶体生长边界层结构以及晶体生长微观机理研究

687-692,6

国家自然科学基金(No. 50472104)资助项目

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