真空封装的硅微陀螺仪OA北大核心CSCDCSTPCD
Vacuum packaged silicon micromachined gyroscope
研究了一种硅微陀螺仪,为了提高品质因数,将其封装在Ф15.5 mm×6 mm的真空腔内.采用一种新方式实现了闭环自激驱动,该方式解耦了闭环驱动的相角和增益条件;优化设计了接口线路,消除了大部分耦合电容;推导开环检测时传递函数、静态灵敏度、带宽的表达式,并分析其影响因素.实验结果表明:驱动频率在1 h内相对变化量为0.000 22%;1 h内驱动幅度相对变化量为0.001 5%;标度因数为12 mV/(°·s-1),线性度为0.075 8%,陀螺输…查看全部>>
杨波;周百令
东南大学仪器科学与工程系,南京,210096东南大学仪器科学与工程系,南京,210096
交通工程
硅微陀螺仪自激驱动接口线路
《东南大学学报（自然科学版）》 2006 (5)
736-740,5
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