电子元件与材料2007，Vol.26Issue(9)：7-9,3.
无机介质集成薄膜电容的制备研究
Investigation of inorganic integrated film capacitor fabrication
摘要
关键词
电子技术/薄膜电容/绝缘强度/介电性能分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
徐文彬,王德苗..无机介质集成薄膜电容的制备研究[J].电子元件与材料,2007,26(9):7-9,3.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50172042) （50172042）
