电子元件与材料2005，Vol.24Issue(8)：8-10,3.
影响Al-Ti复合氧化膜比容的工艺因素研究
Effect of Technological Parameters on Specific Capacitance of Al-Ti Composite Oxide Films
陈金菊 1蒋美连 1冯哲圣 1杨邦朝1
作者信息
- 1. 电子科技大学微电子与固体电子学院,四川,成都,610054
- 折叠
摘要
关键词
电子技术/铝箔/水解沉积/阳极氧化/Al-Ti复合氧化膜/比容分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈金菊,蒋美连,冯哲圣,杨邦朝..影响Al-Ti复合氧化膜比容的工艺因素研究[J].电子元件与材料,2005,24(8):8-10,3.
