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致密扩散障型氧传感器扩散机理的研究

简家文 李晓丽 汪益

电子元件与材料2009,Vol.28Issue(9):8-11,4.
电子元件与材料2009,Vol.28Issue(9):8-11,4.DOI:10.3969/j.issn.1001-2028.2009.09.003

致密扩散障型氧传感器扩散机理的研究

Diffusion mechanism of dense diffusion barrier oxygen sensor

简家文 1李晓丽 1汪益1

作者信息

  • 1. 宁波大学,信息科学与工程学院,浙江,宁波,315211
  • 折叠

摘要

关键词

极限电流/氧传感器/钪稳氧化锆/致密扩散障

分类

信息技术与安全科学

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简家文,李晓丽,汪益..致密扩散障型氧传感器扩散机理的研究[J].电子元件与材料,2009,28(9):8-11,4.

基金项目

浙江省科技计划资助项目(No. 2006C31015) (No. 2006C31015)

宁波市科技局自然科学基金资助项目(No. 2006A610021) (No. 2006A610021)

宁波大学王宽诚幸福基金资助项目 ()

电子元件与材料

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-2028

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