电子元件与材料2007，Vol.26Issue(8)：8-11,4.
低温多晶硅薄膜制备技术应用进展
Application progress on the preparation of low temperature polysilicon films
摘要
关键词
半导体技术/低温多晶硅薄膜/综述/金属诱导横向晶化/准分子激光晶化/触媒化学气相沉积/电感耦合等离子体化学气相沉积分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
杨定宇,蒋孟衡,涂小强..低温多晶硅薄膜制备技术应用进展[J].电子元件与材料,2007,26(8):8-11,4.基金项目
四川省应用基础研究基金资助项目(04JY029-104) （04JY029-104）
