电子元件与材料2008，Vol.27Issue(2)：8-9,2.
薄膜声表面波器件的制备研究进展
Research progress in thin film surface acoustic wave devices
王锐 1杨成韬 1张树人 1李健雄1
作者信息
- 1. 电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054
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摘要
关键词
电子技术/声表面波器件/综述/压电薄膜/叉指换能器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王锐,杨成韬,张树人,李健雄..薄膜声表面波器件的制备研究进展[J].电子元件与材料,2008,27(2):8-9,2.
