电子元件与材料2003，Vol.22Issue(6)：9-10,13,3.
具有SiO2绝缘层的硅基聚酰亚胺电容式湿度传感器的特性研究
Properties of the Polyimide Capacitive-type Humidity Sensor Based on Si Substrate with a SiO2 Insulation Layer
摘要
关键词
湿度传感器/聚酰亚胺/电容式/二氧化硅绝缘层分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
谢琼,杨文,常爱民,康健..具有SiO2绝缘层的硅基聚酰亚胺电容式湿度传感器的特性研究[J].电子元件与材料,2003,22(6):9-10,13,3.基金项目
科技型中小企业技术创新项目(02C26216500778) （02C26216500778）
